과학 공학

반도체개론과 공정 기초

김문호
복두출판사
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소장
25,500 ⓒ
반도체개론과 공정 기초
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ISBN9791166757402
책 소개
이 책에서는 반도체를 쉽게 이해하기 위한 내용으로 구성하였다. 반도체 개론과 공정기초의 두 개의 부분으로 나누어 반도체를 다른 각도에서 이해할 수 있도록 하였다. 먼저 반도체 개론에서는 반도체 기업에서 중요하게 고려하는 내용과 반도체 발명된 이후에 최근의 반도체 산업 전반의 급격한 기술 발전이 이루어지고 있는 내용을 간략하게 다루고 있다. 공정기초에서는 대표적인 반도체 공정에 관해 설명하고 공정별로 핵심적인 기본 개념과 최신 기술을 일부 포함하여 전반적인 반도체 공정을 좀 더 쉽게 이해할 수 있도록 하였다. 반도체 기술이 다루는 학문과 공학의 범위가 전자, 전기, 기계, 재료, 화학, 물리, 광학 등의 모든 공학 분야의 기술들이 망라된다. 여기서는 각각에 대한 깊이 있는 내용보다는 기초적인 내용으로 구성하여 처음 반도체를 공부하는데 가능한 많은 내용을 포함하였고, 좀 더 쉽게 이해할 수 있도록 다양한 전문 지식과 기술에 대한 개념위주로 설명하였다
목차
Part I 반도체개론


1. 반도체 물질
2. 반도체 역사와 발전
3. 반도체의 경제성
4. 클린룸 장치
5. 반도체 소자의 발전
6. 반도체 패키지의 발전
7. 반도체 신뢰성
8. 반도체 품질관리
9. 정전기 관리


Part II 반도체공정 기초

1. 실리콘 웨이퍼
2. 회로설계
3. 포토마스크
4. 박막
5. 포토리소그래피

6. 식각
7. 확산과 이온주입
8. 평탄화, 배선, 전극형성
9. MOSFET 제작
10. 테스트
11. 패키지 조립공정

작가 소개
  • 작가김문호
경기과학기술대학 교수
출판사
복두출판사