과학 공학
반도체 수율은 어디서 무너지는가
세이프티어슈어런스웍스
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- 11,000 ⓒ
| 듣기기능 | TTS지원 | 파일정보 | EPUB |
|---|---|---|---|
| 총 용량 | 4.0 MB | 이용기기 | |
| ISBN | 9791144303591 | ||
책 소개
전주 94퍼센트였던 웨이퍼 테스트 수율이 91퍼센트로 떨어지면 장비, 원재료, 테스트 프로그램을 곧바로 의심하기 쉽다. 그러나 원인을 찾기 전에 두 수율이 같은 분모와 같은 검사 조건으로 계산되었는지를 먼저 확인하지 않으면 분석은 시작부터 빗나갈 수 있다. 같은 92퍼센트도 제외 규칙과 측정 대상이 다르면 전혀 다른 상태를 뜻한다.
이 책은 수율 저하를 성급한 범인 찾기가 아니라 증거를 좁혀 가는 공학적 조사로 다룬다. 분모와 수율 계층을 맞추고, 테스트 조건·빈 코드·결측·중복·시간축 오류를 제거한 뒤 공통원인과 특별원인을 구분한다. 웨이퍼맵의 중심·가장자리·링·스크래치·클러스터 패턴을 원인과 동일시하지 않고 가설의 방향으로 사용하며, 결함밀도와 다이 면적, 관리한계와 규격한계, 장비 편차와 로트 이력을 차례로 대조한다.
파레토 뒤의 두 번째 원인을 놓치지 않는 법, 가설을 거르는 실험을 설계하는 법, 수율 회의에서 어떤 순서로 데이터를 열어야 하는지도 포함한다. 수율이 반등했다는 이유만으로 사건을 닫지 않고 임시조치와 근본조치를 구분해 재발 방지까지 증명하려는 반도체 공정·품질·장비·테스트 실무자에게 필요한 분석 프레임이다.
이 책은 수율 저하를 성급한 범인 찾기가 아니라 증거를 좁혀 가는 공학적 조사로 다룬다. 분모와 수율 계층을 맞추고, 테스트 조건·빈 코드·결측·중복·시간축 오류를 제거한 뒤 공통원인과 특별원인을 구분한다. 웨이퍼맵의 중심·가장자리·링·스크래치·클러스터 패턴을 원인과 동일시하지 않고 가설의 방향으로 사용하며, 결함밀도와 다이 면적, 관리한계와 규격한계, 장비 편차와 로트 이력을 차례로 대조한다.
파레토 뒤의 두 번째 원인을 놓치지 않는 법, 가설을 거르는 실험을 설계하는 법, 수율 회의에서 어떤 순서로 데이터를 열어야 하는지도 포함한다. 수율이 반등했다는 이유만으로 사건을 닫지 않고 임시조치와 근본조치를 구분해 재발 방지까지 증명하려는 반도체 공정·품질·장비·테스트 실무자에게 필요한 분석 프레임이다.
목차
프롤로그. 수율이 떨어진 날, 가장 먼저 틀리는 질문
1장. 수율 92%라는 숫자의 함정
1절. 분모가 달라지면 수율도 달라진다
2절. 공정수율·검사수율·최종수율의 경계
3절. 결함과 불량을 같은 말로 부를 때 생기는 오류
4절. 평균 수율과 기준선이 숨기는 손실
2장. 원인보다 먼저 의심할 데이터
1절. 테스트 조건과 빈 코드가 만든 가짜 저하
2절. 측정 반복성·재현성과 샘플링 편향
3절. 결측·중복·시간축 오류를 확인하는 순서
4절. 원본 보존과 분석용 데이터의 분리
3장. 랜덤과 패턴의 갈림길
1절. 공통원인과 특별원인을 구별하는 기준
2절. 랜덤 결함·시스템 결함·혼합 결함
3절. 공간·시간·장비 축에서 신호를 찾는 법
4절. 한 번의 이상과 지속적 이탈의 경계
4장. 웨이퍼맵의 공간 문법
1절. 좌표·노치·다이·빈을 먼저 읽는 법
2절. 중심·가장자리·링·스크래치·클러스터 패턴
3절. 패턴이 원인을 증명하지 못하는 이유
4절. 여러 패턴이 겹친 웨이퍼를 읽는 순서
5장. 결함밀도가 수율을 깎는 방식
1절. 다이 면적과 결함 기회의 관계
2절. 포아송 모델의 직관과 전제
3절. 군집 결함과 음이항 모델의 보정
4절. 모델 수율과 실제 수율이 어긋나는 지점
6장. 관리한계와 규격한계의 거리
1절. 안정한 공정과 좋은 공정은 다르다
2절. Cp·Cpk·Pp·Ppk를 읽는 순서
3절. 비정규 분포와 작은 표본의 함정
4절. 관리도에서 경보와 오경보를 나누는 법
7장. 장비 한 대가 만든 편차
1절. 장비·챔버·레시피별 층화
2절. 툴 매칭과 골든 툴의 오해
3절. 정비·소모품·교정 이력의 연결
4절. 장비 차이와 제품 믹스의 교란 분리
8장. 로트 이력이 남기는 시간의 흔적
1절. 로트·웨이퍼·다이 계보의 연결
2절. 같은 시간대와 같은 자재 묶음 찾기
3절. 홀드·재작업·우회 공정이 만든 왜곡
4절. 비교군을 만드는 코호트 설계
9장. 파레토 뒤에 숨은 두 번째 원인
1절. 불량 건수와 수율 손실을 따로 보는 법
2절. 빈 코드·결함 모드·제품군의 파레토
3절. 층화하지 않은 파레토가 틀리는 순간
4절. 상위 항목에서 검증 가능한 가설로 넘어가기
10장. 가설을 거르는 실험의 설계
1절. 현상·원인·검증 조건을 한 문장으로 묶기
2절. 재현 실험과 스크리닝 실험의 차이
3절. 블로킹·랜덤화·교호작용의 실무 의미
4절. 확인 실험과 중단 기준
11장. 수율 저하 회의의 실제 순서
1절. 경보 확인과 즉시 격리
2절. 데이터 팩과 첫 가설 회의
3절. 역할별 질문과 결정 기록
4절. 재현 결과로 우선순위를 바꾸는 회의
12장. 조치 완료를 증명하는 데이터
1절. 임시조치와 근본조치의 구분
2절. 전후 비교와 효과크기·신뢰구간
3절. 재발 감시와 관리계획
4절. 실패한 가설과 교훈을 자산으로 남기기
에필로그. 수율을 회복하는 조직은 원인을 빨리 단정하지 않는다
1장. 수율 92%라는 숫자의 함정
1절. 분모가 달라지면 수율도 달라진다
2절. 공정수율·검사수율·최종수율의 경계
3절. 결함과 불량을 같은 말로 부를 때 생기는 오류
4절. 평균 수율과 기준선이 숨기는 손실
2장. 원인보다 먼저 의심할 데이터
1절. 테스트 조건과 빈 코드가 만든 가짜 저하
2절. 측정 반복성·재현성과 샘플링 편향
3절. 결측·중복·시간축 오류를 확인하는 순서
4절. 원본 보존과 분석용 데이터의 분리
3장. 랜덤과 패턴의 갈림길
1절. 공통원인과 특별원인을 구별하는 기준
2절. 랜덤 결함·시스템 결함·혼합 결함
3절. 공간·시간·장비 축에서 신호를 찾는 법
4절. 한 번의 이상과 지속적 이탈의 경계
4장. 웨이퍼맵의 공간 문법
1절. 좌표·노치·다이·빈을 먼저 읽는 법
2절. 중심·가장자리·링·스크래치·클러스터 패턴
3절. 패턴이 원인을 증명하지 못하는 이유
4절. 여러 패턴이 겹친 웨이퍼를 읽는 순서
5장. 결함밀도가 수율을 깎는 방식
1절. 다이 면적과 결함 기회의 관계
2절. 포아송 모델의 직관과 전제
3절. 군집 결함과 음이항 모델의 보정
4절. 모델 수율과 실제 수율이 어긋나는 지점
6장. 관리한계와 규격한계의 거리
1절. 안정한 공정과 좋은 공정은 다르다
2절. Cp·Cpk·Pp·Ppk를 읽는 순서
3절. 비정규 분포와 작은 표본의 함정
4절. 관리도에서 경보와 오경보를 나누는 법
7장. 장비 한 대가 만든 편차
1절. 장비·챔버·레시피별 층화
2절. 툴 매칭과 골든 툴의 오해
3절. 정비·소모품·교정 이력의 연결
4절. 장비 차이와 제품 믹스의 교란 분리
8장. 로트 이력이 남기는 시간의 흔적
1절. 로트·웨이퍼·다이 계보의 연결
2절. 같은 시간대와 같은 자재 묶음 찾기
3절. 홀드·재작업·우회 공정이 만든 왜곡
4절. 비교군을 만드는 코호트 설계
9장. 파레토 뒤에 숨은 두 번째 원인
1절. 불량 건수와 수율 손실을 따로 보는 법
2절. 빈 코드·결함 모드·제품군의 파레토
3절. 층화하지 않은 파레토가 틀리는 순간
4절. 상위 항목에서 검증 가능한 가설로 넘어가기
10장. 가설을 거르는 실험의 설계
1절. 현상·원인·검증 조건을 한 문장으로 묶기
2절. 재현 실험과 스크리닝 실험의 차이
3절. 블로킹·랜덤화·교호작용의 실무 의미
4절. 확인 실험과 중단 기준
11장. 수율 저하 회의의 실제 순서
1절. 경보 확인과 즉시 격리
2절. 데이터 팩과 첫 가설 회의
3절. 역할별 질문과 결정 기록
4절. 재현 결과로 우선순위를 바꾸는 회의
12장. 조치 완료를 증명하는 데이터
1절. 임시조치와 근본조치의 구분
2절. 전후 비교와 효과크기·신뢰구간
3절. 재발 감시와 관리계획
4절. 실패한 가설과 교훈을 자산으로 남기기
에필로그. 수율을 회복하는 조직은 원인을 빨리 단정하지 않는다